ULTRA-HIGH VACUUM

超高真空环境设备

面向超高真空环境搭建与测试需求的定制化真空系统,适配实验室与工业验证场景。

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超高真空环境设备

APPLICATIONS

用途

超高真空环境设备是针对冲击物理、材料科学和表面分析等研究领域设计的定制化真空系统。系统采用多级泵组架构:初级干式机械泵实现粗真空(~10⁻¹ Pa),分子泵实现高真空(~10⁻³ Pa),可选配离子泵或低温泵实现超高真空(10⁻⁴ Pa 及以下)。腔体材质选用 304/316L 不锈钢,经电解抛光和高温除气处理,有助于保持低放气率和内壁洁净度。控制系统基于 PLC 或工控机实现全自动抽真空、真空度保持和安全联锁,支持以太网远程监控。腔体可根据用户需求配置法兰接口、光学观察窗、电学穿通件和样品操作机构,便于与轻气枪、激波管等加载装置以及 PDV、VISAR、高温计等诊断设备联动。

01

冲击物理实验舱

为轻气枪、二级轻气枪等加载装置提供真空弹道环境,消除空气阻力和激波干扰对弹道精度的影响。

02

材料表面分析

为材料溅射、薄膜沉积、表面改性和 XPS/AES 表面分析等应用提供超高真空环境。

03

真空与低温环境模拟

模拟空间超高真空和低温环境,用于材料放气率测试与光学器件环境适应性验证。

04

真空环境加载/诊断耦合

将加载设备和诊断系统集成于真空腔体中,实现真空条件下的冲击加载与实时诊断综合实验。

CORE SPECIFICATIONS

核心参数

01真空能力10⁻⁴ Pa
02设备类型真空环境
03控制方式自动化扩展
04交付形式按需定制

① 极限真空度、抽速、腔体尺寸及接口配置完全按需定制。系统交付包括腔体、泵组、控制系统及安全联锁装置的全套集成与现场调试。

真空参数

真空指标10⁻⁴ Pa(可选配离子泵/低温泵)
泵组架构机械泵 + 分子泵(+ 可选离子泵/低温泵)
抽速按腔体尺寸定制
真空计全量程真空计(Pirani + 冷阴极/热阴极)

腔体与接口

腔体材质304/316L 不锈钢(电解抛光)
法兰接口CF / ISO 标准法兰(按需配置)
观察窗石英/蓝宝石视窗(按需配置)
电学穿通件BNC/SMA/多针 feedthrough(按需定制)

控制系统

控制方式PLC / 工控机自动控制
安全联锁断电保护、断水保护、真空度联锁
远程监控以太网远程访问与状态监控

SYSTEM FEATURES

系统特点

01

支持超高真空环境构建,真空指标可达 10⁻⁴ Pa

02

可根据测试对象灵活配置腔体尺寸、法兰接口与观察窗

03

集成自动化泵组控制系统,支持真空度编程与自动维护

04

便于与加载、探测诊断链路联动,实现真空环境下的综合实验

APPLICATION-DRIVEN CONFIGURATION

参数可根据实验需求定制

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